ULVAC beginnt mit dem Verkauf des kombinierten Abscheidungs- und Ätzmodulsystems des Clustertyps für fortschrittliche Elektronik mit der Bezeichnung „uGmni-Serie“, das die Ausstattung mit einer Vielzahl verschiedener Module auf demselben Transferkern ermöglicht.
2021-02-24 11:44
ULVAC, Inc. (Hauptsitz: Chigasaki, Kanagawa; Präsident und CEO: Setsuo Iwashita; im Folgenden ULVAC genannt) kündigte heute an, mit dem Verkauf des kombinierten Abscheidungs- und Ätzmodulsystems des Clustertyps zu beginnen, das es ermöglicht, eine Vielzahl verschiedener Prozessmodule wie Sputtern, Ätzen und andere auf demselben Transferkern zu installieren. Das Unternehmen hat mit dem Verkauf von Produktionssystemen begonnen, die die neue Technologie enthalten.
Bei der Herstellung fortschrittlicher Elektronik wird eine Vielzahl von Prozessen wie Abscheidung und Fine-Pitch-Strukturierung kombiniert, um diese Geräte herzustellen, wobei im Allgemeinen für jeden Prozess ein unabhängiges System verwendet wird.
Diesmal ist das von ULVAC angekündigte System uGmni mit einer Vielzahl von verschiedenen Prozessmodulen auf demselben Übertragungskern ausgestattet, wodurch die Anzahl der Ersatzteile durch die Verwendung derselben gemeinsamen Teile so weit wie möglich reduziert und die Benutzerfreundlichkeit durch das gleiche Bedienfeld zwischen diesen verschiedenen Modulen verbessert wird. Dies verbessert die Effizienz des Herstellungsprozesses von fortschrittlicher Elektronik weiter.
Überblick über die uGmni-Serie
Eigenschaften［]
Mehrere Arten von Sputter-, Etcher- und Asher＆PE-CVD-Modulen können ausgestattet werden.
Alle Typen der oben genannten Module werden von ULVAC hergestellt.
・Bis zu Φ300㎜ Wafer ist anwendbar.
［Anwendungen］（Beispiele folgen）
・Power Device Seed & Metal Layer Sputtering
・MEMS Sensor PZT Sputtern & Ätzen
・Opt. Gerät VCSEL Ätzen
・Verpackung Descum Ashing
・Kommunikation Isolierte Folie PE-CVD und Ätzen
［Anwendbare Wafergröße］
Gemini-200 Serie MaxΦ200mm
Gemini-300 Serie MaxΦ300mm
［Transferkern］
Quadratisches Prozessmodul Max 2 Kammern
Sechseckiges Prozessmodul Max. 4 Kammern
Heptagon Prozessmodul Max 5 Kammern
Die obige Kernform ist für Φ200mm und für Φ300㎜ kontaktieren Sie uns bitte.
［Anwendbar ausgestattetes Prozessmodul］.
Sputtern, Ätzen, Veraschen, PE-CVD und andere
Jedes Modul wird von ULVAC hergestellt.
System Foto
System-Konfigurationen
Es können verschiedene Module ausgestattet werden（Es folgen Beispiele）
Für weitere Informationen
ULVAC GmbH
TEL:+49-89-96 09 09 0
