ULVAC, Inc. und Robert Bosch GmbH unterzeichnen Grundsatzvereinbarung zur gemeinsamen Entwicklung von piezoelektrischen Bauelementen (PZT) für MEMS -Sputterlösungen-

2015-04-08 11:18

ULVAC, Inc. (ULVAC) (Hauptsitz in Kanagawa, Japan, unter der Leitung von CEO Hisaharu Obinata) und die Robert Bosch GmbH (Bosch) (Hauptsitz in Gerlingen, Deutschland, unter der Leitung von CEO Volkmar Denner) gaben heute bekannt, dass sie eine grundlegende Vereinbarung zur gemeinsamen Entwicklung von piezoelektrischen Bauteilen (PZT) für MEMS unterzeichnet haben.
Bosch, ein weltweit führender Hersteller von MEMS-Sensoren, hat sich für das Sputtering-System SME-200 von ULVAC entschieden, um die Entwicklung neuer, hochmoderner MEMS zu ermöglichen.

Mit dem Wachstum der MEMS-Technologie wurden in den letzten Jahren Sensoren und Aktoren, die piezoelektrische Bauelemente verwenden, entwickelt und vermarktet. ULVAC ist der Meinung, dass die MEMS-Fertigungstechnologie, wie z.B. die Dünnfilmabscheidung und das Trockenätzen, in den kommenden Jahren der Schlüsselfaktor für die Herstellung hochwertiger piezoelektrischer Geräte sein wird.