ULVAC erhält Auftrag von NexPower Technology Corporation für den Bau einer kompletten Solarzellenproduktionsanlage in Taiwan

2007-03-23 10:20

Das Geschäft umfasst alle Peripheriegeräte für die Herstellung und die Produktionsschulung

Bosch, ein weltweit führender Hersteller von MEMS-Sensoren, hat sich für das Sputtering-System SME-200 von ULVAC entschieden, um die Entwicklung neuer, hochmoderner MEMS zu ermöglichen. Mit dem Wachstum der MEMS-Technologie wurden in den letzten Jahren Sensoren und Aktoren, die piezoelektrische Bauelemente verwenden, entwickelt und vermarktet. ULVAC ist der Meinung, dass die MEMS-Fertigungstechnologie, wie z.B. die Dünnfilmabscheidung und das Trockenätzen, in den kommenden Jahren der Schlüsselfaktor für die Herstellung hochwertiger piezoelektrischer Geräte sein wird.