Forschung und Entwicklung bei ULVAC
Eine Ideenschmiede des ULVAC-Konzerns, die darauf ausgerichtet ist, die aktuellen Prozessanforderungen der Kunden mit einem multidimensionalen Ansatz zur Problemlösung zu erfüllen, der Ausrüstung, Prozesse und Materialien umfasst.
Chiba Institut für Supermaterialien
Entwickelt Dünnschichtbildungsprozesse für Flachbildschirmkomponenten (wie LCDs, PDPs und OLEDs) oder Speichertechnologie (wie DVD-RAMs und DVD-RWs).
Institut für Halbleitertechnologien
Das Institute for Semiconductor Technologies (IST) von ULVAC, Inc. sieht es als sein größtes Ziel an, durch die Entwicklung von Materialien und Prozessen in der sich ständig verändernden Halbleiterfertigungsindustrie die neueste Technologie bereitzustellen, die den harten Anforderungen der Kunden gerecht wird. Darüber hinaus ist die „Neue Technologie des 21. Jahrhunderts“ von IST die treibende Kraft, die es ULVAC ermöglichen wird, für immer der beste Partner für seine Kunden zu sein.
Tsukuba Institut für Supermaterialien
Entwickelt eine breite Palette von ‚Seed-Technologien‘, die die Grundlage für künftige Arbeiten bilden. Zu den jüngsten Projekten gehören Entwicklungsarbeiten in den folgenden Bereichen:
- Nanotechnologie zur Herstellung von Geräten aus Kohlenstoff-Nanoröhren oder Graphit-Anofasern, die durch CVD (chemische Gasphasenabscheidung) erzeugt werden
- Verfahren zur Polymerisation durch Aufdampfen zur Herstellung organischer Dünnschichten
- Methoden der Oberflächenanalyse mit Elektronen- und Ionenstrahlen
- Seltene-Erden-Magnete
Abteilung für technologische Entwicklung (im Hauptsitz)
Entwickelt Vakuumgeräte (wie Vakuumpumpen) und Ultrahochvakuumgeräte. Andere Arbeiten umfassen die Entwicklung von computerintegrierter Fertigung (CIM) und Mechatronik-Technologien wie berührungslose, schwebende, magnetische Wafer-Transferroboter und Vakuumroboter, die in superreinen Halbleiterfertigungsprozessen der nächsten Generation eingesetzt werden.
