Sputtering-Targets für photovoltaische Anwendungen
- Ultraschallprüfgeräte sorgen für eine akribische Qualitätskontrolle!
ULVAC nutzt große Ultraschallprüfgeräte zur Qualitätssicherung, um sorgfältige Fehlerprüfungen von Materialien und Verbindungsprüfungen durchzuführen. Der Einsatz dieser Ausrüstung half ULVAC, die Lichtbogenbildung beim Sputtern drastisch zu reduzieren und qualitativ hochwertige Ziele zu entwickeln. - Hochzuverlässige Metallverbindungstechnik
Große Sputtering-Ziele sind sehr schwer, daher ist die Technologie für die Verbindung mit einer Kühlplatte (Backing Plate) extrem wichtig. ULVAC hat eine Bonding-Anlage installiert, um die Abscheidung größerer Glassubstrate zu unterstützen und hat dadurch ein All-inclusive-Ziele-Versorgungssystem realisiert. - Ziele mit geringer Partikelzahl
- Erreichen einer hohen Gleichmäßigkeit durch Anpassung der Metallmikrostruktur
Ziele für Solarzellen
| Materialien (Reinheit) | Hauptanwendung |
|---|---|
| AZO (3N-) | Transparente leitfähige Filme |
| GZO (3N-) | Transparente leitfähige Filme |
| Ag (4N) | Reflektierende Filmelektrodenmaterialien |
| Ti (3N-) | Schutzschichten für Elektrodenmaterial |
| Al-Legierung (5N) | Materialien für die Verdrahtung |
| ITO (4N) | Transparente leitfähige Filme |
| Cu (4N) | Precursors |
| In (4N) | Precursors |
| CuGa (-35Gew.-%Ga) | Precursors |
| Si (5N-) | Passivierungsschichten |
| SiO2 (4N) | Passivierungsschichten |
| Mo (3N) | Materialien für Elektroden |
| ZnO (3N) | Transparente leitfähige Filme |
Recycling von Sputtering-Ziele
Bei ULVAC werden die Rückgewinnung, das Recycling und die Wiederverwendung von wertvollen seltenen Metallen proaktiv umgesetzt, um eine effiziente Nutzung von Sputtering-Ziele zu erreichen.
