Sputtering-Targets
Um qualitativ hochwertige Sputtering-Ziele zu entwickeln und zu produzieren, untersucht ULVAC sorgfältig, welches Herstellungsverfahren für jedes Material verwendet werden muss, um die Produktqualitätsziele „geringe Partikel“, „gute Filmgleichmäßigkeit“ und „hohe Nutzungseffizienz“ zu erreichen.
- Ultraschallprüfgeräte gewährleisten höchste Ansprüche an die Qualitätssicherung
- Hochzuverlässige Metallverbindungstechnik
- Targets mit geringer Partikelzahl
- Sputtering-Targets, die mit optimalen und fortschrittlichsten Fertigungsmethoden hergestellt werden
- Targets mit geringer Partikelzahl
- Erreichen einer hohen Gleichmäßigkeit durch Anpassung der Metallmikrostruktur
- Unterstützung mit Sputtering-Targets für alle Bereiche, einschließlich TFT und OLED
- Hochzuverlässige Metallverbindungstechnik
- Erreichen einer hohen Gleichmäßigkeit durch Anpassung der Metallmikrostruktur
