Turbo-Molekularpumpe Serie UTMｰMS
Es handelt sich um eine Turbomolekularpumpe mit einer separaten Steuerung, die mit Magnetlagern arbeitet. Wir haben eine Reihe von Modellen mit einem Saugvermögen von 300 bis 4000 L/s. Die Steuereinheit kann den Betriebsstatus überwachen und unterstützt verschiedene Kommunikationsstandards.
- Getrennter Pumpenkörper und Controller
Der Controller kann den Betriebsstatus überwachen und unterstützt verschiedene Kommunikationsstandards. - Freie Montagerichtung
Die freie Montagerichtung macht das Systemdesign flexibel. - Saugvermögen 300L/s bis 4000L/s Klasse Lineup
- Pumpenrotation variabel von 25% bis 100%
Ermöglicht die Anpassung des Drucks in einer Kammer durch Änderung der Rotationsgeschwindigkeit. - Hohe Haltbarkeit und Sicherheit
Die Sicherheitstests wurden bestanden, wie z.B. der Luftansaugtest und der Aufsetztest.
Besondere Merkmale / Weitere Anwendungen
- Hauptvakuumpumpsystem für Geräte
– Halbleiter-Ausrüstung
– Verdampfer,Sputtering System
– Analytische Geräte, Experimentiergeräte und andere. - Hauptvakuumpumpsystem für die leichten Prozesse, bei denen keine Nebenreaktionsprodukte entstehen.
- Allgemeine Verwendung für Hochvakuum-Evakuierungssysteme.
