Trockene Vakuumpumpe MS Serie
Die MS-Serie ist eine trockene Schraubenvakuumpumpe, die speziell für anspruchsvolle Anwendungen entwickelt wurde.
Korrosionsbeständigkeit und Pulverabsaugung sind als Prozessbeständigkeitsmodell auf der Grundlage der traditionellen LS-Serie verbessert. Sie bietet verbesserte Korrosionsbeständigkeit und optimierte Pulverabsaugung, basierend auf der bewährten Technologie der traditionellen LS-Serie. Dieses Modell ist ideal für Prozesse mit korrosiven Gasen und Pulverabsaugung konzipiert.
- Korrosionsbeständigkeit durch Spezialbeschichtung der Hauptteile wie Rotorwelle und Zylinder
- Die einzigartige Rotorwelle von ULVAC ermöglicht eine herausragende Pulverabsaugung
- Realisieren Sie kontinuierliches Pumpen bei atmosphärischem Druck
BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN
- Vakuumsystem für die Herstellung von Halbleitern und elektronischen Geräten
- Ätzen, Veraschung, Plasmareinigung und mehr
- Vakuumsystem für Öfen
- Sintern, Aufkohlen und ähnliche Prozesse
- Vakuumsystem für die Herstellung von Li-Ion-Batterien
- Elektrodentrocknung, Entgasung, Vakuumeinspritzung und weitere Verfahren.
- Vakuumsystem für Medizin und Lebensmittel
- Gefriertrocknen, Vakuumtrocknen und ähnliche Prozesse
