Trockene Vakuumpumpe LR/HR/UR Serie
Dank des einzigartigen Ansatzes von ULVAC, die im Inneren des trockenen Pumpengehäuses erzeugte Wärme zu nutzen, kann die LR/HR/UR Serie auch in den anspruchsvollsten Prozessen eingesetzt werden. ULVAC hat sich bei der Entwicklung darauf konzentriert, eine extrem gleichmäßige hohe Temperatur über alle Pumpenstufen hinweg aufrechtzuerhalten, wodurch diese Pumpenreihe optimal für CVD- und Ätzanwendungen geeignet ist. ULVACs ECO-SHOCK kann der LR-Pumpe hinzugefügt werden, um zusätzliche Energieeinsparungen von bis zu 70% bei allen leichten Prozessen, einschließlich des Pumpen von Luft oder Stickstoff, zu erzielen.
- Pumpen für niedrige Temperaturen: Die Pumpen der LR-Serie sind entweder für Load-Lock- oder PVD-Prozesse konzipiert.
- Das einzigartige Aluminiumdesign von ULVAC ermöglicht eine sehr gleichmäßige Temperaturverteilung im gesamten Pumpenkörper: Die HR-Serie-Pumpe ist für CVD- und Ätzprozesse konzipiert.
- Die Pumpen der ULVAC UR-Serie sind für Anwendungen konzipiert, die eine beheizte Pumpe, beheizte Gasleitungen und/oder beheizte Abgasleitungen erfordern.
- Hervorragende Helium-Pumpleistung : Spaltrohrmotor für Sicherheit und Wartungsfreundlichkeit
- Schutz vor Stromausfällen : Die Pumpe übersteht Stromunterbrechungen von bis zu 1000 ms Dauer.
- Hervorragende Korrosionsbeständigkeit: Die internen Komponenten sind speziell behandelt und bieten einen hohen Grad an Oberflächenhärte und Korrosionsbeständigkeit. Dies verhindert Verschleiß und Korrosion der internen Pumpenteile, wenn sie
korrosiven Gasen ausgesetzt sind. - Kommunikationsfunktion: Pumpendaten, einschließlich Warnungen und Alarme, können exportiert werden. Eine umfangreiche Pumpensteuerung ist verfügbar.
- CE-Kennzeichnung: Die CE-Kennzeichnung ist auf Anfrage erhältlich.
Besondere Merkmale / Weitere Anwendungen
- Die Pumpe ist für CVD- oder Trockenätzanwendungen konzipiert
- Die Pumpe ist für PVD-, Verdampfungs- oder Wärmebehandlungsprozesse konzipiert
- Verkürzung der Absaugzeit für die LL-Kammer (LR-Serie)
- Die Pumpe ist für die Förderung von Prozessgasen ausgelegt, die Pulvernebenprodukte erzeugen, wie z.B. Si-Kristallzuchtöfen
- Vorvakuumpumpe für Turbomolekularpumpen und mechanische Druckerhöhungspumpen
