Trockene SchraubenvakuumpumpeLS Serie 120A
- Das hohe Saugvermögen bei atmosphärischem Druck reduziert die Ausfallzeiten der Pumpe erheblich.
- Die eingebaute ECO-SHOCK Technologie reduziert den Stromverbrauch für saubere Anwendungen deutlich.
- Der integrierte Schalldämpfer sorgt für einen Geräuschpegel von 61 dB(A) oder weniger.
- Niedrige Betriebskosten
- Erhältlich in 4 Modellen mit einem Saugvermögen zwischen 120~1200m3/h
BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN
Sauberer Prozess („C-Typ“): Entwickelt für saubere Prozesse mit Gasen wie Luft und N2 (LS***A-C)
- TMP Vorvakuumpumpe usw.
- Schleusenraum laden
- Kaschierung
- Aufdampfung
- Sputtern
Leichter Prozess („L-Typ“): Entwickelt für leichte Prozesse mit Dampf und anderen schwierigen Gasen (LS***A-L)
- Allgemeine industrielle Nutzung
- Ashing
- Gefriertrocknung
- Vakuumtrocknung




