Mechanische Druckerhöhungspumpe Serie PRC
In Verbindung mit trockenen Vakuumpumpen, Öl-Vakuumpumpen oder wassergefüllten Vakuumpumpen können mechanische Booster-Pumpen das Saugvermögen im Bereich von 10 kPa bis 0,1 Pa erhöhen, wenn das Saugvermögen von Vorvakuumpumpen nachlässt. Die PRC-Serie wurde für Halbleiter- und Flüssigkristallanzeigeprozesse entwickelt, bei denen besondere Sauberkeit erforderlich ist. Die Startart Atmosphärendruck kann als Option gewählt werden.
- Ölfrei
Kein Öl im Pumpengehäuse, dadurch stabile Leistung auch beim Absaugen von Wasserdampf oder Lösungsmitteldämpfen. - Dosenmotor
Durch die Verwendung eines Spaltrohrmotors kann die Verwendung einer mechanischen Dichtung zwischen Atmosphäre und Vakuum vermieden werden. Er kann in sauberer Umgebung verwendet werden, ohne dass ein Ölaustritt zu befürchten ist. - Ausgezeichnete korrosionsbeständige Oberflächenbehandlung
Anodische Oxidbeschichtung für Oberflächenhärte und Korrosionsbeständigkeit auf den Hauptteilen kann Kratzer und Korrosion im Inneren der Pumpe verhindern. Die nicht-oberflächliche Behandlung kann als Option ausgewählt werden. - Atmosphärischer Druck Starttyp für kürzere Evakuierung
Typ (Option: Inverter)
Dieser Typ kann die Pumpzeit im Vergleich zum Standardtyp verkürzen, da die Pumpe zur gleichen Zeit wie der Standardtyp startet.
Schrupppumpe.
BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN
- Aufdampfen, Sputtern, Ionenplattieren
- Vakuumtrockner, Gefriertrockner, Vakuumentgasung
- Analytische Instrumente, Dichtheitsprüfsystem
- Gasaustausch, Befüllung, Vakuumisolierung
- Wärmebehandlung, Schmelzofen
- Andere verschiedene Arten von Vakuumsystemen
