- Komponenten
- Vakuumpumpen
- Trockene Pumpen
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie 120A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie LS300A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie LS 600A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie LS 1200A
- Trockene Vakuumpumpe MS Serie
- Trockene Scroll-Vakuumpumpen der DIS-Serie
- Trockene Scroll-Vakuumpumpen der DISL-Serie
- Trockene Membran-Vakuumpumpe Serie DTC
- Membran-Trockenvakuumpumpe DAU-20/DTU-20
- Membranpumpe für trockenes Vakuum Serie DA
- Trockene Vakuumpumpe mit Membranantrieb Serie DAP
- Trockene Vakuumpumpe LR/HR/UR Serie
- Trockene Vakuumpumpe CR Serie Version B
- Trockene Vakuumpumpe GR Serie
- Trockene Vakuumpumpen mit Wippkolben, Serie DOP
- Ölkreiselpumpen
- Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpe GHD-031
- Öl-Drehschiebervakuumpumpe mit Magnetkupplung Serie Gv135
- Öl-Drehvakuumpumpe Magnetkupplung Serie Gv200
- Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpe Serie GLD
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VD-Serie
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VD-Serie 90C
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VS1501, VS2401
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VS300A-W
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VS650A
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe Serie PKS
- Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpe Serie PVD
- Mechanische Druckerhöhungspumpen
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- Trockene Pumpen
- Vakuum-Messgeräte
- Mehrfach-Ionisationsmessgerät G-TRAN Serie ST200-A / R / E
- Mehrfach-Ionisationsmessgerät G-TRAN Serie SH200-A / R / E
- Pirani Vakuum-Messwertaufnehmer Typ SW100 SW100-A / R
- G-TRAN Serie Pirani Gauge Sensor SP1
- Smartphone-Direkt Pirani Messgerät SWU10-U
- Keramik-Kapazitäts-Manometer, CCMT-D Serie
- G-TRAN Serie Druckschaltereinheit (SAU)
- Kaltkathodenmessgerät Sensoreinheit G-Tran Serie SC1
- G-TRAN ISG1
- Prozessgas-Monitor
- Basis Prozessgasüberwachung – Qulee BGM2-Serie
- Kompakter Prozessgasmonitor – Qulee CGM2 Serie
- Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee HGM2-202/302 Serie
- Reaktives Prozessgas-Überwachungssystem – Qulee RGM2 Serie
- Qulee2 Serie Zusatz-Option
- Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee mit YTP-H für Atmosphärendruck
- Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee mit YTP-H Serie für Vakuum
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- Stromgenerator
- ECO Schock Serie ES10
- ECO Schock Serie ES4A
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- Impuls- und Gleichstromversorgungssysteme Netzteil Modell: DC PULSE 5-10P
- Gepulste und DC-Stromversorgungssysteme Digital DC-2-4-D
- Gepulste und DC-Stromversorgungssysteme Digital DC-10-20-D
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- RF Power System RF-Stromversorgung RFS-N
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- Prozessanlagen
- Nach Technologie
- Nach Anwendung
Stellmotorpumpe PST-030CU/PST-030AU
Sputter-Ionenpumpe
- Regeneriertes Saugvermögen (m3/sec):
N2 *: 0,03 (0,02)
Ar * : (0,013)
* bei 1 x 10e-9 mbar- Wählbar für aktive Gase (PST-030CU) und Edelgase (PST-030AU) - Enddruck: 10e-11 mbar
- Anschluss Flansch Typ: UFC070
- Empfohlener Controller: GST-07L-B
