KALTKATHODEN-MESSGERÄT SENSOREINHEIT G-TRAN SERIE SC1
G-TRAN Serie SC1 ist ein Magnetron-Kaltkathoden-Vakuummeter. Da kein Filament verwendet wird, ist eine längere Lebensdauer zwischen dem Austausch des Messgeräts und dem nächsten garantiert. Erwartete Wartung. Reduzierung der Betriebskosten durch einfache Wartung
- Spezifikation des Messwertaufnehmers
Die folgenden Vorteile können erzielt werden, wenn die Druckanzeige nicht erforderlich ist:
Durch den Wegfall der Anzeige reduzieren sich die Kosten für das Vakuummessgerät.
Eine kleinere Größe ermöglicht mehr Platz auf dem Bedienfeld
Reduzierung der Verkabelung - Wartung
vereinfachte Wartung - Filament wird eliminiert
Keine Schäden durch Einwirkung von atmosphärischem Druck - Ausgangssignal steuern
2 Sollwert-Ausgang - Ausgangssignal
Der Druckmesswert ist ein 0 bis 10V Log-Ausgang (nicht-linearer Ausgang) - Spannung der Stromversorgung
Betrieben mit DC24V
BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN
- Prozesskontrolle im Druckbereich von Präzisions-Vakuumanlagen für die Herstellung von Halbleitern, optischen und elektronischen Bauteilen
- Prozesskontrolle im Niedervakuumbereich für Industrieanlagen wie Öfen
- Prozesskontrolle im Druckbereich für Vakuumsysteme mit mehreren Prozesskammern, wie z.B. Inline-Sputtering und Anlagen zur Bearbeitung einzelner Wafer
