Mini-Lampenglühgerät MILA 5000
ADVANCE RIKO hat das Mini-Lampenglühgerät MILA 5000 entwickelt, um diese speziellen Bedürfnisse zu decken.
Rapid Thermal Processing (RTO) hat sich zu einer wichtigen Heiztechnik für das Tempern von Halbleitern, Ferroelektrika und anderen Dünnschichtgeräten entwickelt. Bis vor kurzem waren jedoch nur große und teure Produktionsanlagen für diese schnelle Erhitzungs- und Abkühlungstechnik verfügbar, was die Forschungs- und Entwicklungsarbeit erschwerte, insbesondere bei kleinen Proben. Um diesen speziellen Anforderungen gerecht zu werden, hat ADVANCE RIKO das Mini-Lampenglühgerät MILA-5000 entwickelt. Dieses kompakte RTP-Tischsystem ist um einen Goldreflektor-IR-Ofen herum aufgebaut und enthält einen hochpräzisen Temperaturregler. Wenn der MILA-5000 mit einem optionalen Pumpgaseinlass ausgestattet ist, kann er bei kleinen Proben die gleiche Leistung wie größere RTP-Geräte im Produktionsmaßstab erbringen – zu einem Bruchteil der Größe und der Kosten.
