RF Power System
RF power supply Model: RFS-N
Highly Versatile RF Power Supply System.
Das „Modell:RFS-N“ ist ein 13,56MHz, 0,5kW/1/kW/3kW/5kW Ausgangs-HF-Netzteil für die Plasmabearbeitung. Ausgestattet mit einem hocheffizienten HF-Verstärker, ist es kompakt und leicht.
Darüber hinaus verfügt das HF-Netzteil über eine eingebaute Auto-Matching-Controller-Funktion, so dass Sie die Leistung des HF-Netzteils und des Anpassungssystems nur mit dem Hauptgerät steuern können.
- Die Energieeinsparung wird durch die Installation eines RF-Schaltkreises mit hoher Leistungsumwandlungseffizienz erreicht
- High-Speed-Auto-Matching wird von einem High-Speed-Algorithmus durchgeführt
- Integrierte Auto-Matching-Funktion in der RF-Stromversorgung
- Externe analoge Steuerung und Steuerung über serielle Kommunikation sind möglich
- Erzielung einer überwältigenden Zuverlässigkeit durch die Entwicklung auf der Grundlage des über viele Jahre angesammelten Know-hows als Gerätehersteller
BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN
| RF-Netzteil Modell | RFS-1305N | RFS-1310N | RFS-1330N | RFS-1350N | |
| Eingangsspezifikationen | Eingang Nennspannung | Einphasig AC200V ｰ 220V | Dreiphasig AC200V ｰ 220V | ||
| Eingangskapazität | 1,2 kVA oder weniger | 1,8 kVA oder weniger | 5 kVA oder weniger | 8 kVA oder weniger | |
| Ausgangsspezifikationen | Oszillationsfrequenz | 13.56MHz | |||
| Nennleistung | 500W（Bei 50Ω Last） | 1000W（Bei 50Ω Last） | 3000W（Bei 50Ω Last） | 5000W（Bei 50Ω Last） | |
| Anschluss des Ausgangs | N-Typ | HN-Typ | DIN 7/16 | ||
| Methode der Kühlung | Gezwungene Luftkühlung | Zwangsluftkühlung+Wasserkühlung | |||
| Kein Kühlwasser erforderlich | Durchflussmenge 4L/min | Durchflussmenge 6L/min | |||
| AbmessungenAbmessungen (B×T×H) enthalten keine Vorsprünge | 240 x 495 x 150（mm） | 480 × 500 × 150（mm） | |||
| Gewicht | Ca.11kg | Ca.23kg | |||
| Standard | CE, KC, SEMI F47, SEMI S2, RoHS | ||||
| Passendes Box-Modell | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N |
| Eingangsleistung | 30 – 500W | 30 – 1000W | 30 – 3000W | 50 – 5000W |
| Zulässiger Ausgangsstrom | 30Arm | 80Arm | 120Arm | |
| Zulässige Ausgangsspannung | 2500Vpp | 5000Vpp | 10000Vpp | |
| Methode der Kühlung | Gezwungene Luftkühlung | Wasserkühlung (2L/min) | ||
| AbmessungenAbmessungen(B×T×H) enthalten keine Vorsprünge | 375 ×250 ×120(mm) | 375 × 250 ×170(mm) | 450 × 500 × 248(mm) | |
| Gewicht | Ca.8kg | Ca.10kg | Ca.21kg | |
| Standard | CE, KC, SEMI F47, SEMI S2, RoHS | |||
