RF Power System mit
eingebauter Matcher RF-Stromversorgung RMG Modell: RMG-1303
Alle RF-Power-Funktionen in einem einzigen Gerät
Das RMG-1303 ist ein 13,56MHz, 300W RF-Netzteil mit integriertem Ausgangs-Matcher für Plasmaprozesse wie RF-Sputtern und Plasma-CVD-Ätzen. Durch die Integration des Matchers und des HF-Netzteils ist das Gerät kleiner und leichter. Es lässt sich von einer niedrigen Leistung aus steuern und kann in einer Vielzahl von Bereichen eingesetzt werden, von F&E-Anwendungen bis hin zu Massenproduktionsanlagen.
- Steuerbar ab einer Leistung von nur 1W
- 500Hz – 100kHz Puls-RF-Ausgangsfunktion als Standard Fähigkeit zur Steuerung mit niedriger Ausgangsleistung
- Standardmäßig mit einem externen Synchronisationsstift ausgestattet
- Einphasig 100V – 220V / 50Hz – 60Hz breite Palette von Eingängen
- 200mm×200mm×350mm/10kg, kompakte und leichte Stromversorgung
- CE, KC, SEMI F47, SEMI S2, RoHS
BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN
| Modell | RMG-1303 | |
| Funktionsbereich Stromversorgung | Eingangsspannung | Einphasig AC100-220V |
| Eingangsleistung | 700VA oder weniger | |
| Frequenz | 13.56MHz±0.01% | |
| Forword Leistung | 300W (bei 50Ω Last) | |
| Abschnitt mit passender Funktion | Nennleistung | 300W |
| Nennstrom | 10Arme | |
| Nennspannung | 2500Vpp/-2500Vdc(Standard) *1 | |
| Ausgangselektroden/Optionen | 2-M4(Standard)/N,HN,DIN7/16 *2 | |
| Gemeinsamer Abschnitt | Methode der Kühlung | Gezwungene Luftkühlung |
| AbmessungenAbmessungen (B×T×H) enthält keine Vorsprünge |
200×350×200（mm） | |
| Gewicht | Ca. 10kg | |
| Standard | CE, KC, SEMI F47, SEMI S2, RoHS（Europa） | |
*1 Die Nennspannung kann optional geändert werden.
*2 Es ist möglich, die Art des Steckerausgangs als Option zu wählen.
