Gepulste und Gleichstromversorgungssysteme DC PULSE-Netzteil Modell: DC PULSE
DC-Pulsstromversorgung ermöglicht stabiles reaktives Sputtern
Das „Modell: DC PULSE“ ist ein gepulstes Netzteil, das abnormale Entladungen, die bei reaktiven Prozessen auftreten, wirksam unterdrückt. Dieses Netzteil kehrt die Ausgangsspannung in einem festgelegten Zeitraum um und hebt die Ladungsansammlung (Aufladung) auf der Zieloberfläche auf, wodurch abnormale Entladungen unterdrückt und Ausbeute und Durchsatz verbessert werden.
- Durch die Unterdrückung abnormaler Entladungen kann eine hohe Leistungsaufnahme erfolgen.
- Reduziert durch Lichtbögen verursachte Substratschäden Die Oszillationsfrequenz kann für die Ausgabe zwischen 5 kHz und 250 kHz eingestellt werden.
- Bis zu 6 Geräte parallel betreibbar (nur Kombinationen desselben Modells)
- Durch Änderung des Betriebsmodus kann es auch als Gleichstromnetzteil mit Low-Arc-Funktion verwendet werden.
BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN
| Model | DC-5-P | DC-10-P | |
| Input Specifications | Input voltage | 3-phase AC208V | |
| Input Capacity | 8kVA or less | 13.5kVA or less | |
| Output Specifications | Rated power | 5kW | 10kW |
| Ratedcurrent | 12.5A | 25A | |
| Rated voltage | 5k-150kHz：800V, 155k-250kHz：650V | ||
| Frequency | 5k-250kHz | ||
| Reverse voltage pulse width | 0.4μ-5.0μs | ||
| Ignition voltage | 1500V | ||
| control | Control accuracy | The higher of ±0.5% or less of the rated output or ±1% of the set value | |
| Control Warranty Coverage | 10-100% of rated power value | ||
| Interface | Analog/Digital, Serial communication（RS232C or RS485） | ||
| Parallel operation | Up to 6units can be controlled by master/slave communication | ||
| Cooling method | Forced air cooling | ||
| Dimensions(W×D×H) does not contain protrusions |
483×630×133（mm） | ||
| Weight | 29kg | 36kg | |
| Standard | CE, KC, SEMI F47, RoHS（Europe） | ||
