Gleichstromgenerator DC-10/DC-20 und DC-30-44H
Das „Modell:DC“ ist ein Gleichstromnetzteil (DC-Netzteil) zum Sputtern. Es besteht aus zuverlässigen Komponenten und Schaltkreisen. Es handelt sich um ein äußerst zuverlässiges Netzteil, das sich ideal für Plasmalasten eignet, da es in der Konstruktion unser über viele Jahre gewachsenes Know-how, einschließlich der Anwendung von Netzteilen, widerspiegelt.
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Leichtes und platzsparendes Design
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Sortiment von 800-V- und 1000-V-Ausgangsspannungsbereichen (nur 10/20-kW-Produkte)
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Leistungskontrolle mit fundierten Plasmakenntnissen
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Das Zwangsluftkühlsystem benötigt kein Kühlwasser
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Ausgestattet mit hervorragender ARC-Funktion und Hochgeschwindigkeits-ARC-Abschaltschaltung
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Ausgestattet mit hervorragender ARC-Funktion und Hochgeschwindigkeits-ARC-Abschaltschaltung
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Bis zu 12 Einheiten (240 kW) können parallel betrieben werden (nur 10/20 kW-Produkte)
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Konform mit CE, SEMI F47 und RoHS (ausgenommen DCS- und 400-V-Spezifikationen)
BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN
| Model | DC-10-AM | DC-10-H-AM | DC-10-4-AM | DC-20-AM | DC-20-H-AM | DC-20-4-AM | DC-30-44H | |
| Input Specifications | Input voltage | 3-phase AC208V | 3-phase AC380-400V |
3-phase AC208V | 3-phase AC380-400V |
3-phase AC440V |
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| Input Capacity | 13.5kVA or less | 25kVA or less | 41.5 kVA or less |
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| Output Specifications | Rated power | 10kW | 20kW | 30kW | ||||
| Ratedcurrent | 25A | 18A | 25A | 50A | 40A | 50A | 55A | |
| Rated voltage | 800V | 1000V | 800V | 800V | 1000V | 800V | 1200V | |
| Ignition voltage | 1500V | |||||||
| control | Control accuracy | The higher of ±0.5% or less of the rated output or ±1% of the set value | ||||||
| Control Warranty Coverage | 10-100% of rated power value | |||||||
| Interface | Analog/Digital, Serial communication（RS232C or RS485） | SERIAL control (RS232C or RS485) /EtherCAT |
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| Parallel operation | Yes | |||||||
| Cooling method | Forced air cooling | |||||||
| Dimensions (W×D×H) does not contain protrusions | 483×630×133（mm） | 483×650×177（mm） | ||||||
| Weight | 29kg | 36kg | 45kg | |||||
| Standard | CE, KC, SEMI F47, RoHS（Europe） | RoHS （Europe） |
CE, KC, SEMI F47, RoHS（Europe） | RoHS （Europe） |
CE, SEMI F47, RoHS（Europe） | |||
