Stromgenerator
ULVAC kann auf eine langjährige Erfahrung in der Entwicklung und dem Verkauf von qualitativ hochwertigen, zuverlässigen Stromgeneratoren und einer breiten Palette von anderen Stromversorgungslösungen zurückblicken. Mit unserem umfangreichen Angebot an DC-Stromversorgungen, DC-PULSE-Stromversorgungen, MF-Stromversorgungen, RF-Stromversorgungen und EB-Quellen/EB-Stromversorgungen bietet ULVAC die perfekten Lösungen für Sputtersysteme. Unsere Produkte verfügen über verschiedene Eigenschaften und können in zahlreichen Bereichen und Anwendungen eingesetzt werden, wie z. B. FPD, MEMS, Leistungselektronik, LED, Halbleiter, Festplatten, Industrie-Werkzeuge, Automobilindustrie und Entgiftung. Unser Angebot an Gleichstromversorgungen gewährleistet eine hohe Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit, die auf unserem Know-how und unserer Erfahrung in der praktischen Anwendung beruht. Gepulste DC-Stromversorgungen überwinden den hohen Unterdrückungseffekt von abnormalen Entladungen, die im reaktiven Sputterprozess zu erwarten sind. MF-Stromversorgungen sind für Doppelkathoden-Sputteranlagen konzipiert. Sie eignen sich nicht nur für die Metallschichtabscheidung, sondern auch für die reaktive Abscheidung. Ein stabiler Sputterprozess kann ohne jeglichen Anodenverlust realisiert werden. Das EB-Netzteil von ULVAC, dessen Schaltkreis stabilisiert und dessen Leistung auf der Grundlage langjährig entwickelter Technologie verbessert wurde. Wir haben auch eine EB-Verdampfungsquelle mit langlebigem Filament in unserem Sortiment. Haben Sie Fragen zur Auswahl der am besten geeigneten Lösung? Wenden Sie sich einfach an unseren Vertriebsingenieur, der Sie gerne weiter unterstützt.
- Hohe Leistungsaufnahme durch Unterdrückung abnormaler Entladungen
- Reduziert durch Lichtbögen verursachte Substratschäden
- Oszillationsfrequenz von 5 kHz bis 250 kHz für die Ausgabe
- Aufstellung der Ausgangsspannungsbereiche 800 V und 1000 V
- Ausgangskontrolle
- Bis zu 12 Einheiten (240 kW)
- Leichtes und platzsparendes Design
- Ausgestattet mit exzellenter ARC-Funktion
- Bis zu 12 Geräte (240 kW) können parallel betrieben werden
- Lineup umfasst 800V und HV-Spezifikationen
- Ausgestattet mit exzellenter ARC-Funktion
- Bis zu 12 Geräte (240 kW) können parallel betrieben werden
- High-Speed-Auto-Matching wird von High-Speed-Algorithmus durchgeführt
- Integrierte Auto-Matching-Funktion
- Externe analoge Steuerung und Steuerung über serielle Kommunikation möglich
- Steuerbar ab einer Leistung von nur 1W
- 500Hz – 100kHz Puls-RF-Ausgangsfunktion
- Einphasig 100V – 220V / 50Hz – 60Hz
- Energieeinsparung für trockene Pumpen
- 59% der Energieeinsparung
- Einfache Installation
- Energieeinsparung für trockene Pumpen
- 80% Reduzierung des Stromverbrauchs
- Verbesserung der Leistung trockener Pumpen










