Kompakter Prozessgasmonitor – Qulee CGM2 Serie
CGM2-101 / 102
Der „Qulee“ (ausgesprochen „KLEE“) ist das neueste Modell von ULVAC für die Restgasanalyse und Gasüberwachung während des Prozesses. Das Feedback der Techniker der einzelnen Produktionslinien ist in das neue Produktdesign eingeflossen, um es noch einfacher zu machen.
Die Messungen können mit hoher Genauigkeit bei dem Prozessdruck der Sputteranlage (weniger als 1 Pa) durchgeführt werden, ohne dass ein Differentialabsaugsystem verwendet werden muss.
Mit der Fähigkeit, den Massenbereich von 1-100 AMU zu messen, sind Sie auch in der Lage, Fett, Fluorkühlmittel, Siloxan und Restkohlenwasserstoffe aus Reinigungsflüssigkeiten zu erkennen.
Dies qualifiziert das CGM2-101/102 als perfektes Werkzeug für fortschrittliche Sputtering-Prozesse.
- Ideal für die Prozessüberwachung verschiedener Sputtering-Systeme
- Massebereich 1-100 AMU
- Überwachung des Luftlecks
- Management der Restfeuchtigkeit
- Rückstände von Reinigungsmitteln
- Galden® und andere Gaslecks
- Überwachung von Restkohlenwasserstoffen
- Kein Differenzialpumpsystem erforderlich (weniger als 1 Pa bei 7,5 x 10-3 Torr/1 x 10-2 mbar)
- Eingebautes Display: PC-frei
- Hochsensibler Lecktest möglich (CGM2-102) Mehr Lecktests.
- Verschiedene Lecktests verfügbar (Helium-Lecktest, Luft-Lecktest, Montagetest)
- Gesamtdruckmessung (Ionisationsmanometer) möglich
- Enthält ein Schnellinstallationspaket-System (QIP). Automatisches Messpaket (siehe Optionskatalog für Details)
- Qulee QCS ist enthalten : Diese Software ist enthalten und kompatibel mit (Windows 8/10/11)
- Entspricht der CE-Norm
Besondere Merkmale / Weitere Anwendungen
- Ideal für die Restgasanalyse, Prozessüberwachung und das Management von Verunreinigungen H2O in Sputteranlagen
- Für die Dichtheitsprüfung von Sputtering-Geräten.
