Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee mit YTP-H für Atmosphärendruck
ULVACs Variante von Qulee, die neue Funktionen als Antwort auf Kundenbedürfnisse hinzufügt.
Durch die Hinzufügung einer Differenzialpumpeinheit bietet das Qulee Mess- und Analysefunktionen für
Prozessmanagement und Restgasanalyse.
Eigenschaften
- Hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis
Bietet Gasanalyse mit einer optionalen Differenzialpumpeinheit - Kompaktes Design
Verwendet die Standard-Vakuumeinheit Modell Desktop YTP - Integrierte Anzeigeeinheit
Liefert visuelle Daten, ohne dass ein PC erforderlich ist - Einfache Bedienung
Ein-Klick-Funktion für einfache Bedienung, keine komplizierten Verfahren - Atmosphärendruckanalyse
Wählbare maximal messbare Drücke 3000Pa,500Pa,100Pa, 10Pa und 1Pa
(22.5Torr, 3.75Torr, 0.75Torr, 7.5×10-2Torrund 7.5×10-3Torr/30mbar, 5mbar, 1mbar, 0.1mbar und 1.0×10-2mbar) - Wählen Sie ein Modell je nach Ihrer Anwendung
Wählen Sie aus den Massenzahlen 1 bis 100 (BGM2-101/102), 1 bis 200(BGM2-201/202), 1 bis 300(HGM2-302) - Geräuscharm
43dB(A) oder weniger bei Höchstdruck - Druckanzeige
Entwickelt für die einfache Integration von 2 Vakuummessgeräten - Vollständige Lecktestfunktion
Helium-Lecktest, Luft-Lecktest, Leckagetest - Qulee QCS Ver.4 (Ethernet-kompatibel)
Software enthalten (Windows 8/10/11)
Special Features / Further Applications
- Various types of gas analysis for research and development
- Gas monitoring of PVD system during processing Residual gas analysis in PVD system
- Residual gas analysis for high vacuum pumping equipment, etc.
Specifications
| Qulee main body | Select from BGM2-101 / 102 / 201 / 202, HGM2-302 ＊Refer to the product catalogue for the specification of Qulee |
||
| Software Qulee QCS Ver. 4.2 later (Windows 8/10/11) | |||
| Sampling pressure | Atmospheric pressure | ||
| Atmospheric pressure type (Atmospheric pressure sampling unit)APS-001 | Capillary type (100,000Pa type) | Dry pump(Sweep) | ６L/min, Ultimate pressure/6700Pa |
| Controller unit | Temperature contol and On/Off control of cartridge heater, On/Off control of sweep pump | ||
| Capillary tube unit | Manual bellows valve (1 line), Cartridge heater, insulation mat, Capillary tube (already mounted), Joint fitting 1/4 ”Swagelok | ||
| Power-supply voltage | Select for AC100V/220V | ||
| Pump unit desktop YTP | Desktop YTP (YTP70A-D) |
Turbo molecular pump | 70L/s (N2) |
| Dry pump(Roughing) | 19L/min(Diaphragm pump) | ||
| Power-supply voltage | AC100-240V | ||
| Accessories | AC100V power cord(*1), Base stage for DesktopYTP(*2), AC adapter for Qulee, LAN cable(3m) for Qulee, Software installation disc, Bolt set for fixing flange, Gasket (ICF114G,ICF070G), Power strip(*3), Casters(*4), Various fixing screws | ||
| Options | Ionization gauge package(SH200-1,Sensor head cable 2m, Cross tube, Bolts,Gaskets), USB-LAN adapter, Switching hub(8 ports or 16 ports)(*5),Floor cart(*6) | ||
＊1 Please use power code when using the device in a foreign country or a region where the electrical voltage differs from AC100V. Three power codes are necessary for atomospheric pressure sampling unit, desktop YTP, and AC adapter for Qulee.
＊2 Make sure to use a base stage when installing desktop YTP. For atmospheric pressure type, it has two-stage structure so that a control unit can be attached.
＊3 Power strip only comes with atmosperic pressure/AC100V type.
＊4 Casters only come with atmospheric pressure type. Please attatch casters by yourself.
＊5 AC adapter is necessary for an optional switching hub.
＊6 Please set up the floor cart by yourself.
