Basis Prozessgasüberwachung – Qulee BGM2-101/102 201/202 Serie
Qulee2 ist die neueste Serie unserer Restgasanalysatoren von ULVAC. Das Feedback von Technikern aus verschiedenen Produktionslinien ist in das neue Produktdesign eingeflossen, das ein Höchstmaß an Einfachheit bietet. (Ethernet-kompatibel) Am besten geeignet für die Steuerung von Vakuumverdampfern und verschiedenen Arten von Vakuumöfen.
- Hervorragend im Preis-Leistungs-Verhältnis
Geeignet für RGA-Anwendungen - Kommunikationsschnittstelle
Ethernet kompatibel - Integriertes Display
Kein PC erforderlich - Einfache Bedienung
„Ein-Klick“-Funktion - Ausheizen
Maximal 120℃ (248°F ) hohe Temperatur beim Ausheizen (250℃ (482°F ) wenn die Sensoren entfernt werden) - Degas-Funktion
Elektronenbeschuss-Entgasung - Schutz- und Wartungsfunktionen
Wartungshilfefunktion zum Schutz der Ionenquelle und des Sekundärelektronenvervielfachers - Verschiedene Lecktests sind verfügbar
Helium-Lecktest, Luft-Lecktest, Lecktest nach oben - Messung des Gesamtdrucks
Kann den Gesamtdruck messen - Qulee QCS ist enthalten
Diese Software ist enthalten und kompatibel mit (Windows 8/10/11) - Anwendbarer Standard
Entspricht CE
Besondere Merkmale / Weitere Anwendungen
- Restgasanalyse für organische Elektrolumineszenz
- Restgasüberwachung für PV-, FPD- und Halbleiterproduktionssysteme
- Restgasanalyse in PVD-Systemen und Vakuumabscheidung
- Restgasanalyse für Hochvakuum-Pumpenanlagen, usw.
- Restgasanalyse für Gefriertrocknungsanlage
- Verschiedene Arten der Gasanalyse für Forschung und Entwicklung
Spezifikationen
Auflösung M/△M=1M(10% P.H.)
| Modell | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| Massenfilter Typ | Quadrupol | |||
| Masse Bereich | 1～100 amu | 1～200 amu | 1～100 amu | 1～200 amu |
| Detektor-Typ | Faradayscher Becher | EM-Röhre Faradayscher Becher |
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| Empfindlichkeit | 10-7A/ Pa | 4A / Pa | ||
| Minimaler nachweisbarer Partialdruck | 10-8Pa | 10-12Pa | ||
| Maximaler Betriebsdruck | 1×10-2Pa | |||
| Gesamtdruck-Funktion | Fähig / 10-2 ～ 10-5Pa | |||
| Ein-Klick-Funktion | Fähig / He /H2O/ N2/ O2 / Jedes Gas | |||
| Lecktestfunktion mit einem Klick | Fähig | |||
| Leistungsaufnahme | DC24V±10％ 50W | |||
| Maximale Betriebstemperatur des Sensors | 120℃ (248°F ) | |||
| Maximale Ausheiztemperatur (ohne Elektronik) |
250℃ (482 °F ) | |||
| Betriebstemperaturbereich | 10 bis 40℃ (50 bis 104 °F) | |||
| Software | Qulee QCS ab Ver. 4.2 (Windows 8/10/11) | |||
| Anwendbare Norm | CE | |||
