Qulee Restgasanalysatoren und Prozessgasmonitore: Präzise Messgeräte für Sputter-, CVD- und Vakuumprozesse
Die ULVAC‑Qulee‑Serie verbindet moderne Prozessgasüberwachung mit der Präzision eines Quadrupol‑Massenspektrometers. Die Gasanalysatoren messen in Echtzeit die Zusammensetzung von Prozessgasen und ermöglichen so schnelle Leck‑, Feuchte‑ und Verunreinigungskontrolle. Ihr Einsatz erstreckt sich von Sputteranlagen über Vakuumöfen bis hin zu komplexen CVD‑/ALD‑Prozessen und Forschungsanlagen.
- Hervorragend in der Kostenleistung
- Integriertes Display
- Einfache Bedienung
- Massebereich 1-100 AMU
- Überwachung von Restkohlenwasserstoffen
- Verschiedene Lecktests verfügbar (Helium-Lecktest, Luft-Lecktest, Montagetest)
- Am besten geeignet für F&E-Anwendungen
- Ausheizen max 250˚C
- Verschiedene Dichtheitsprüfungen verfügbar
- Einzigartige geschlossene Ionenquelle ermöglicht mit Magnet
- Empfindliche Ionisationskammer
- Verringert den Abstand zwischen der Prozesskammer und der Ionenquelle
- Hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis
- Einfach zu bedienen
- Atmosphärendruckanalyse
- Hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis
- Einfach zu bedienen
- Atmosphärendruckanalyse
Qulee Prozessgasmonitore: Produktübersicht
- Kernanwendung: Ideal für Verdampfungssysteme und Vakuumöfen, perfekt zur allgemeinen Prozessüberwachung und Qualitätskontrolle.
- Eigenschaften: Einfache Bedienung, Ethernet-Anbindung, Modelle BGM2‑101/102 und 201/202 bieten wahlweise höhere Empfindlichkeit und herausragendes Preis-Leistungs-Verhältnis
- Kernanwendung: Entwickelt für Sputterprozesse, ideal für Leck- und Restfeuchteüberwachung sowie Verunreinigungskontrolle.
- Eigenschaften: Hohe Messgenauigkeit bis in den 1 Pa Druckbereich, Modelle CGM2‑051/052 und CGM2‑101/102. Unterstützt Lecktests (Helium, Luft, Montagetest).
- Kernanwendung: High-End-Geräte für Ultra-Hochvakuum und Forschung, perfekt für R&D-Anwendungen, bei denen höchste Empfindlichkeit gefragt ist.
- Eigenschaften: Minimales detektierbares Partialdruckniveau von 10⁻¹³ Pa, Modelle HGM2‑202/302.
- Kernanwendung: Speziell für CVD-, ALD- und Ätzprozesse entwickelt, bietet langzeitstabile Messungen auch bei korrosiven Gasen.
- Eigenschaften: Modelle RGM2‑201F/202/302 mit Differential-Pumpsystem Einlasssystemen und robusten Ionenquellen, unterstützen Endpunkt-Detektion und Prozessoptimierung.
- Kernanwendung: Varianten mit Differential-Pumpsystem für hohe Prozessdrücke (1 Pa – 3000 Pa) oder Atmosphärendruck, ideal für Vakuumöfen, Atmosphärenanalysen, Umweltmonitoring und Abgasanalysen.
- Eigenschaften: Einfache Bedienung, hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis.
Branchen und Zielgruppen
- Halbleiter‑ und Mikroelektronikindustrie: Prozessingenieure in Sputter‑, CVD‑, ALD‑ und Ätzanlagen profitieren von präziser Gasüberwachung zur Erhöhung der Ausbeute.
- Dünnfilm‑ und Beschichtungsbranche: Betreiber von Verdampfungssystemen und Vakuumöfen setzen die BGM2‑ und YTP‑H‑Varianten zur Kontrolle von Restfeuchte, Leckagen und Gasreinheit ein.
- Forschungs‑ und Entwicklungslabore: Universitäten und Unternehmenslabore nutzen HGM2‑Modelle für Ultra‑Hochvakuum‑Experimente und Materialforschung.
- Anlagenhersteller und OEMs: Integrieren Prozessgasmonitore als Qualitäts‑ und Sicherheitskomponenten in Komplettanlagen.
- Umwelt‑ und Katalyseforschung: YTP‑H‑Atmosphärenvarianten eignen sich für Abgas‑, Umwelt‑ oder Katalysereaktor‑
Anwendungsbereiche
- Echtzeit‑Prozessüberwachung: Quadrupol‑Massenspektrometrie liefert schnelle Analysen von Gaszusammensetzungen, ermöglicht die Endpunkt‑Detektion bei Ätz‑ oder Reinigungsprozessen und verhindert Überä
- Leck‑ und Restfeuchteprüfungen: Die Qulee‑Serie erkennt kleinste Leckagen und Feuchtigkeitseinträge in Vakuumsystemen, was die Prozessqualität steigert.
- Prozessoptimierung: Durch Überwachung von Reaktanten und Nebenprodukten in CVD/ALD‑Prozessen lassen sich Gasverhältnisse optimieren und die Ausbeute erhö
- Ultra‑Hochvakuum‑Analysen: HGM2‑Geräte messen extrem geringe Partialdrücke, wodurch Materialien und Oberflächen unter reinsten Bedingungen untersucht werden kö
- Atmosphären‑ und Umweltschutz: YTP‑H‑Varianten analysieren Prozessgase bei hoher oder atmosphärischer Drucklage; dies ist nützlich für Umweltmessungen, Katalysereaktionen und Abgasanalysen.
Vorteile der Qulee‑Serie
- Breite Anwendungspalette: Eine Serie deckt vom Sputtern (CGM2) über Verdampfung (BGM2), relevante CVD/ALD‑Prozesse (RGM2) bis hin zu Ultra‑Hochvakuum‑Forschung (HGM2) und Atmosphärenanalysen (YTP‑H) alles ab.
- Hohe Präzision & Empfindlichkeit: Quadrupol‑Massenspektrometrie ermöglicht Messungen mit hoher Auflösung, z. 10⁻¹³ Pa bei der HGM2‑Serie.
- Einfache Bedienung: Ethernet‑fähige Geräte mit integrierten Displays, Ein‑Knopf‑Start und anwenderfreundlicher Software (QCS) erleichtern die Integration und Bedienung.
- Langzeitstabilität: RGM2‑Modelle bieten korrosionsbeständige Ionensysteme und differenziell gepumpte Einlässe für reaktive Gase, wodurch langfristige Prozessstabilität gewährleistet ist.
- Flexibilität bei Druckbereichen: YTP‑H‑Varianten erlauben Messungen vom Ultra‑Hochvakuum bis zum Atmosphä
Mit der Qulee‑Serie bietet ULVAC ein modulares Portfolio, das sich leicht in bestehende Anlagen integrieren lässt und dabei die Anforderungen vom Serienbetrieb bis zur Forschung abdeckt.
