Spektroskopisches Hochgeschwindigkeits-Ellipsometer UNECS-Serie
Die UNECS-Serie ist eine Art spektroskopisches Ellipsometer zur schnellen und präzisen Messung des Brechungsindex und der Dicke einer dünnen Schicht. Es verwendet eine einzigartige Messmethode und ermöglicht eine kompakte Größe und Hochgeschwindigkeitsmessung. Es verfügt über eine umfangreiche Produktpalette, wie z.B. den Por-Tisch-Typ, den automatischen Bühnen-Typ und den eingebauten Typ usw.
- Hochgeschwindigkeitsmessung :
Die Schnappschuss-Messmethode wird realisiert und die Hochgeschwindigkeits
Messung beträgt 20ms pro Punkt. - Sichtbarer Spektralbereich :
Der spektrale Wellenlängenbereich kann ausgewählt werden. Der Standardtyp ist
530nm~750nm und der sichtbare Spektraltyp ist 380nm~760nm. - Kompakte Sensoreinheit :
Die Sensoreinheit ist leicht und sehr kompakt. Sie besteht aus
ein optisches Element, das über keinen Drehmechanismus verfügt. Unter
Außerdem ist keine regelmäßige Wartung erforderlich. - Starke Produktlinie :
Es gibt eine starke Produktlinie mit dem tragbaren Typ, dem manuellen/
die automatische Stufe, den eingebauten Typ und den großen Substrattyp usw.
Besondere Merkmale / Weitere Anwendungen
- Messung für transparente oder halbtransparente dünne Filme
Dicke(D), Reflexionsindex(N) und Extinktionskoeffizient(K). (Oxid
Film, Nitridfilm, Fotoresistfilm, ITO-Film usw.)
