Beschichtungs-Controller CRTM-R1
ULVAC hat auf Basis langjähriger Erfahrung und bewährter Technologien neue Quarz-Kristall-Beschichtungscontroller entwickelt. Sie tragen zur Verbesserung der Qualität und Zuverlässigkeit bei Verdampfungsbeschichtungsprozessen bei.
Funktionen
- Ausgezeichnete Ratenstabilität und Auflösung – ideal für die Steuerung niedriger Beschichtungsraten.
- Messfunktion für die Fähigkeit (CI-Wert) verbessert die Erkennung von Kristallanomalien.
- Gleichzeitige Steuerung der Verdampfung von bis zu 8 Quellen möglich (mit optionaler Erweiterung).
- Unterstützt Ethernet- und RS-232C-Kommunikation.
- Verschiedene Logdaten können gespeichert werden. Die Daten lassen sich per USB übertragen und am PC analysieren.
Anwendung
- Dicken- und Ratensteuerung bei der Verdampfung von Metall- oder optischen Dünnschichten
Besondere Merkmale / Weitere Anwendungen
| Frequenz | Messbereich | 4,00 bis 3,00 MHz @4MHz 5,00 bis 3,50 MHz @5MHz 6,00 bis 4,50 MHz @6MHz |
| Messauflösung | 1 mHz | |
| Anzeigegenauigkeit | 1 mHz | |
| Abscheiderate | Messbereich *1 | 0,000 bis 999,9 Å/s (0 bis 99,99 nm/s) |
| Messauflösung *2 | 0,0028 Å/s @4MHz 0,0018 Å/s @5MHz 0,0012 Å/s @6MHz |
|
| Anzeigegenauigkeit *1 | 0,001 Å/s | |
| Schichtdicke | Messbereich *1 | 0,000 bis 9999 kÅ (0 bis 999,9 μm) |
| Messauflösung *2 | 0,0028 Å @4MHz 0,0018 Å @5MHz 0,0012 Å @6MHz |
|
| Anzeigegenauigkeit *1 | 0,001 kÅ | |
| Sensorfrequenz | 4 MHz, 5 MHz, 6 MHz | |
| Anzahl der installierbaren Sensoren (Einzelbetrieb) | 2 (Optional erweiterbar auf bis zu 8 Sensoren) | |
| Anzahl der installierbaren Sensoren (Mehrfachbetrieb) | 2 (Optional erweiterbar auf bis zu 8 Sensoren) | |
| Abtastrate | 100 ms | |
| Anzahl der Abscheideprogramme | 999 | |
| Anzahl der Prozessprogramme | 99 | |
| Digitale Eingänge | 14 (Optional erweiterbar auf bis zu 56 Eingänge) | |
| Digitale Ausgänge | 8 (Optional erweiterbar auf bis zu 32 Ausgänge) | |
| Analoge Ausgänge | 2 (Optional erweiterbar auf bis zu 16 Ausgänge) | |
| Spannungsbereich der analogen Ausgänge | -10 bis +10 V | |
| Kommunikationsschnittstellen | Ethernet (1000BASE-T / 100BASE-TX / 10BASE-T) RS-232C USB (Typ-B, für Einstellungen mit spezieller Software) |
|
| Abmessungen (B x T x H) | CRTM-R1: ca. 480 × 320 × 130 mm CTM(-D): ca. 80 × 152 × 53 mm |
|
| Gewicht (kg) | CRTM-R1: 5,3 kg (bis zu 5,8 kg mit Optionen) CTM(-D): 0,6 kg |
|
| Netzversorgung | AC 100 bis 240 V ±10 %, 50/60 Hz | |
| Maximale Leistungsaufnahme | 150 W | |
| Geeignete Sicherung | 250 V 2,5 A (2 Stück, 5 × 20 mm) | |
| IP-Schutzart | IP20 | |
| Überspannungskategorie | Kategorie II (CAT II) | |
| Maximale Betriebshöhe | 2000 m über dem Meeresspiegel oder weniger | |
| Verschmutzungsgrad | 2 | |
| Betriebsumgebung | Temperatur: 5 bis 40 °C Luftfeuchtigkeit: 20 bis 85 % rF (nicht kondensierend) |
|
| Lagerumgebung | Temperatur: -10 bis 60 °C Luftfeuchtigkeit: 20 bis 85 % rF (nicht unter Strom, nicht kondensierend) |
|
| Aufwärmzeit | Ca. 30 Minuten | |
| Zertifizierungen | CE | |
* 1: Gilt bei Tooling-Faktor = 100 und Dichte = 1
* 2: Der Wert ergibt sich aus der Frequenzauflösung bei Tooling-Faktor = 100 und Dichte = 1.
