Abscheidungs-Controller CRTM-6000G
Der CRTM-6000G ist ein Abscheidungs-Controller mit einem hervorragenden Preis-Leistungs-Verhältnis.
Dieses Gerät bietet einen großen Regelbereich für die Abscheidung von Einzelschichten ebenso wie von Mehrschichtsystemen.
Merkmale
- Zwei Sensoren können für die Schichtabscheidung umgeschaltet werden.
(Eine gleichzeitige Messung ist nicht möglich. Es handelt sich um eine Umschaltfunktion.) - Prozesskontrolle bei niedrigen Abscheidungsraten ist dank hoher Auflösung der Schichtdicke möglich.
- Ausgezeichnete Reaktionszeit durch eine Abtastrate von 125 ms.
- Bis zu 99 Abscheidungsprogramme können mit Batterie-Backup gespeichert werden.
- Der Speicher des Controllers kann bis zu 30 Prozesssequenzen speichern.
- Die RS232C-Schnittstelle ist standardmäßig enthalten. Die Steuerung über einen PC ist daher einfach.
- Die 12-kanaligen digitalen Ein-/Ausgangssignale sind programmierbar.
- Die 3-kanaligen analogen Ausgangssignale (Leistung, Rate, Schichtdicke) sind programmierbar.
- Für präzisere Steuerung können bis zu 3 Schritte für Vorheizen und Ratenregelung eingegeben werden.
Besondere Merkmale / Weitere Anwendungen
- Kontrolle der Schichtdicke und Abscheidungsrate während der Verdampfung
Spezifikationen
| Auflösung der Schichtdicke/-rate | 0,041 Å (5 MHz) 0,029 Å (6 MHz) |
| Anzeigebereich / Auflösung der Schichtdicke | 0,000～99,99 μm (0,000～999,9 kÅ) |
| Anzeigebereich / Auflösung der Abscheidungsrate | 0,01～99,99 nm/s (0,1～999,9 Å/s) |
| Unterstützte Sensorfrequenz | 5 MHz, 6 MHz |
| Anzahl anschließbarer Sensoren | Einzelsensor: 2 (Gleichzeitige Messung nicht möglich, Umschaltbetrieb) Multisensor: 1 |
| Abtastrate | 125 ms |
| Anzahl unterstützter Schichten bei Mehrschichtfilmen | 99 Schichten |
| Anzahl der Abscheidungsprogramme | 99 |
| Digitale Ein-/Ausgänge | Eingang: 12 Kanäle, programmierbar Ausgang: 12 Kanäle, programmierbar |
| Analoge Ausgänge | 3 Kanäle, programmierbar |
| Außenmaße (B × T × H) | 240 mm × 350 mm × 99 mm |
Abscheidungs-Controller CRTM-6000G
Merkmale der CRTM- und CRTS-Serie
Entwicklung einer Quarz-Kristallscheibe mit einer Resonanzfrequenz von 4 MHz
