Die ULVAC Thin Film Deposition Controller mit Kristalloszillation wurden auf Grundlage von umfangreicher Erfahrung mit der Zusammenarbeit mit Systemherstellern entwickelt. Es ist möglich, sowohl Einzelschichtfilme als auch Mehrschichtfilme für eine umfassende Schichtdickenmessung zu verwenden. ULVAC Thin Film Deposition Controller der CRTM-Serie gewährleisten eine niedrige Depositionsrate und eine hochpräzise Schichtdickenregelung mit einer hervorragenden Schichtdicken-/Ratenauflösung. Durch die hohe Abtastrate ist die Steuerung sehr reaktionsschnell. Bei den Sensoren der CRTS-Serie können Sie zwischen Einzelsensoren und Multisensoren wählen. Außerdem hängt die Auswahl von den Beschichtungsbedingungen ab, wie z.B. mit oder ohne Einbrennen, Temperaturbereich etc. Die Quarzkristalle von ULVAC gewährleisten eine minimale Frequenzänderung durch Strahlungswärme. ULVAC hat den weltweit ersten leistungsstarken 4MHz Quarzkristall entwickelt, der speziell für Filme aus organischem Material geeignet ist. Für eine einfache und sichere Verpackung wird UCR in einer Karussell-Box mit 10 Stück pro Packung geliefert. ULVAC strebt aufgrund seiner langjährigen Erfahrung stets nach Innovation. Werfen Sie einen Blick auf unsere neueste Produkteinführung, den CRTM-R1 Depositionscontroller.
- Ausgezeichnete Ratenstabilität und Auflösung – ideal für die Steuerung niedriger Beschichtungsraten.
- Messfunktion für die Fähigkeit (CI-Wert) verbessert die Erkennung von Kristallanomalien.
- Gleichzeitige Steuerung der Verdampfung von bis zu 8 Quellen möglich (mit optionaler Erweiterung).
- Unterstützt Ethernet- und RS-232C-Kommunikation.
- Zwei Sensoren können für die Schichtabscheidung umgeschaltet werden.
(Eine gleichzeitige Messung ist nicht möglich. Es handelt sich um eine Umschaltfunktion.) - Prozesskontrolle bei niedrigen Abscheidungsraten ist dank hoher Auflösung der Schichtdicke möglich.
- Ausgezeichnete Reaktionszeit durch eine Abtastrate von 125 ms.
- Bis zu 99 Abscheidungsprogramme können mit Batterie-Backup gespeichert werden.
- Der Speicher des Controllers kann bis zu 30 Prozesssequenzen speichern.
- Die RS232C-Schnittstelle ist standardmäßig enthalten. Die Steuerung über einen PC ist daher einfach.
- Die 12-kanaligen digitalen Ein-/Ausgangssignale sind programmierbar.
- Die 3-kanaligen analogen Ausgangssignale (Leistung, Rate, Schichtdicke) sind programmierbar.
- Für präzisere Steuerung können bis zu 3 Schritte für Vorheizen und Ratenregelung eingegeben werden.




