Dünnschichtmessung / Schichtabscheidungs-Regler

Für die präzise Messung der Dicke dünner Schichten ist die Ellipsometrie eine optische Methode, die wertvolle Einblicke in die dielektrischen Eigenschaften dünner Schichten bietet, einschließlich des komplexen Brechungsindex und der dielektrischen Funktion. Die Ellipsometrie misst die Veränderung der Polarisation bei Reflexion oder Transmission. Die UNECS-Serie ist ein spektroskopisches Ellipsometer, das die Dicke und den Brechungsindex dünner Schichten mit hoher Geschwindigkeit und Präzision misst. Die einzigartige Messmethode, ohne rotierende Teile, gewährleistet eine hohe Messgeschwindigkeit und eine kompakte Größe. Mit den ULVAC Thin Film Deposition Controllern, der CRTM-Serie in Kombination mit den Einzel- oder Multisensoren der CRTS-Serie und den Quarzen der UCR-Serie, können wir alle notwendigen Teile für eine leistungsstarke Abscheidungssteuerung liefern, die Ihre Anforderungen in vollem Umfang erfüllt.