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Mittelstrom-Ionenimplantiergerät SOPHI-400
Dieses Gerät, SOPHI-400, ist im Wesentlichen ein Erbe des bestehenden mittelgroßen Ionenimplanters und entfernt überflüssige Spezifikationen basierend auf unseren hinreichenden Erfahrungen als Gerätelieferant. Dank der effektiven Kostenreduzierung können wir daher einen günstigen Verkaufspreis bei gleichzeitiger Scanfähigkeit anbieten.
- Anwendbar für 4 – 8 Zoll Wafer.
- Kompaktes und leichtes Gerät.
- Hervorragende Parallelstrahlleistung.
- Hervorragend geeignet für Energie- und Metallverschmutzung.
- Anwendbar für ultradünne Wafer.
- 400kV einfach / 800kV doppelt / 1,2MV für Dreifachladung
BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN
- Halbleiterproduktion.
- Ultradünne Wafer, wie z.B. Stromvorrichtungen, etc.
- Protonen-Implantation
- F&E
