• Produkte • Prozessanlagen • Nach Technologie • Ionen-Implantation • Mittelstrom-Ionenimplantiergerät SOPHI-400
- Komponenten
- Vakuumpumpen
- Trockene Pumpen
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie 120A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie LS300A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie LS 600A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie LS 1200A
- Trockene Vakuumpumpe MS Serie
- Trockene Scroll-Vakuumpumpen der DIS-Serie
- Trockene Scroll-Vakuumpumpen der DISL-Serie
- Trockene Membran-Vakuumpumpe Serie DTC
- Membran-Trockenvakuumpumpe DAU-20/DTU-20
- Membranpumpe für trockenes Vakuum Serie DA
- Trockene Vakuumpumpe mit Membranantrieb Serie DAP
- Trockene Vakuumpumpe LR/HR/UR Serie
- Trockene Vakuumpumpe CR Serie Version B
- Trockene Vakuumpumpe GR Serie
- Trockene Vakuumpumpen mit Wippkolben, Serie DOP
- Ölkreiselpumpen
- Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpe GHD-031
- Öl-Drehschiebervakuumpumpe mit Magnetkupplung Serie Gv135
- Öl-Drehvakuumpumpe Magnetkupplung Serie Gv200
- Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpe Serie GLD
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VD-Serie
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VD-Serie 90C
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VS1501, VS2401
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VS300A-W
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VS650A
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe Serie PKS
- Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpe Serie PVD
- Mechanische Druckerhöhungspumpen
- Ionenpumpen
- Turbo-Molekularpumpen
- Öl-Diffusionspumpen
- Kryo-Pumpen
- Zubehör
- Trockene Pumpen
- Vakuum-Messgeräte
- Mehrfach-Ionisationsmessgerät G-TRAN Serie ST200-A / R / E
- Mehrfach-Ionisationsmessgerät G-TRAN Serie SH200-A / R / E
- Pirani Vakuum-Messwertaufnehmer Typ SW100 SW100-A / R
- G-TRAN Serie Pirani Gauge Sensor SP1
- Smartphone-Direkt Pirani Messgerät SWU10-U
- Keramik-Kapazitäts-Manometer, CCMT-D Serie
- G-TRAN Serie Druckschaltereinheit (SAU)
- Kaltkathodenmessgerät Sensoreinheit G-Tran Serie SC1
- G-TRAN ISG1
- Prozessgas-Monitor
- Basis Prozessgasüberwachung – Qulee BGM2-Serie
- Kompakter Prozessgasmonitor – Qulee CGM2 Serie
- Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee HGM2-202/302 Serie
- Reaktives Prozessgas-Überwachungssystem – Qulee RGM2 Serie
- Qulee2 Serie Zusatz-Option
- Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee mit YTP-H für Atmosphärendruck
- Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee mit YTP-H Serie für Vakuum
- Lecksuchgeräte
- Dünnschichtmessung / Thin Film Measurement
- Vakuum-Ventile
- Stromgenerator
- ECO Schock Serie ES10
- ECO Schock Serie ES4A
- Gleichstromgenerator DC-10/DC-20 und DC-30-44H
- Impuls- und Gleichstromversorgungssysteme Netzteil Modell: DC PULSE 5-10P
- Gepulste und DC-Stromversorgungssysteme Digital DC-2-4-D
- Gepulste und DC-Stromversorgungssysteme Digital DC-10-20-D
- RF Power System mit Matcher RMG-1303
- RF Power System RF-Stromversorgung RFS-N
- Thermoelektrische Bewertung
- Vakuumpumpen
- Prozessanlagen
- Nach Technologie
- Nach Anwendung
Mittelstrom-Ionenimplantiergerät SOPHI-400
Dieses Gerät, SOPHI-400, ist im Wesentlichen ein Erbe des bestehenden mittelgroßen Ionenimplanters und entfernt überflüssige Spezifikationen basierend auf unseren hinreichenden Erfahrungen als Gerätelieferant. Dank der effektiven Kostenreduzierung können wir daher einen günstigen Verkaufspreis bei gleichzeitiger Scanfähigkeit anbieten.
- Anwendbar für 4 – 8 Zoll Wafer.
- Kompaktes und leichtes Gerät.
- Hervorragende Parallelstrahlleistung.
- Hervorragend geeignet für Energie- und Metallverschmutzung.
- Anwendbar für ultradünne Wafer.
- 400kV einfach / 800kV doppelt / 1,2MV für Dreifachladung
BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN
- Halbleiterproduktion.
- Ultradünne Wafer, wie z.B. Stromvorrichtungen, etc.
- Protonen-Implantation
- F&E
