• Produkte • Prozessanlagen • Nach Anwendung • Leistungshalbleiter • Trockenätzsystem für die Produktion NE-5700 & NE-7800
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- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie 120A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie LS300A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie LS 600A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie LS 1200A
- Trockene Vakuumpumpe MS Serie
- Trockene Scroll-Vakuumpumpen der DIS-Serie
- Trockene Scroll-Vakuumpumpen der DISL-Serie
- Trockene Membran-Vakuumpumpe Serie DTC
- Membran-Trockenvakuumpumpe DAU-20/DTU-20
- Membranpumpe für trockenes Vakuum Serie DA
- Trockene Vakuumpumpe mit Membranantrieb Serie DAP
- Trockene Vakuumpumpe LR/HR/UR Serie
- Trockene Vakuumpumpe CR Serie Version B
- Trockene Vakuumpumpe GR Serie
- Trockene Vakuumpumpen mit Wippkolben, Serie DOP
- Ölkreiselpumpen
- Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpe GHD-031
- Öl-Drehschiebervakuumpumpe mit Magnetkupplung Serie Gv135
- Öl-Drehvakuumpumpe Magnetkupplung Serie Gv200
- Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpe Serie GLD
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VD-Serie
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VD-Serie 90C
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VS1501, VS2401
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VS300A-W
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe VS650A
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe Serie PKS
- Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpe Serie PVD
- Mechanische Druckerhöhungspumpen
- Ionenpumpen
- Turbo-Molekularpumpen
- Öl-Diffusionspumpen
- Kryo-Pumpen
- Zubehör
- Trockene Pumpen
- Vakuum-Messgeräte
- Mehrfach-Ionisationsmessgerät G-TRAN Serie ST200-A / R / E
- Mehrfach-Ionisationsmessgerät G-TRAN Serie SH200-A / R / E
- Pirani Vakuum-Messwertaufnehmer Typ SW100 SW100-A / R
- G-TRAN Serie Pirani Gauge Sensor SP1
- Smartphone-Direkt Pirani Messgerät SWU10-U
- Keramik-Kapazitäts-Manometer, CCMT-D Serie
- G-TRAN Serie Druckschaltereinheit (SAU)
- Kaltkathodenmessgerät Sensoreinheit G-Tran Serie SC1
- G-TRAN ISG1
- Prozessgas-Monitor
- Basis Prozessgasüberwachung – Qulee BGM2-Serie
- Kompakter Prozessgasmonitor – Qulee CGM2 Serie
- Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee HGM2-202/302 Serie
- Reaktives Prozessgas-Überwachungssystem – Qulee RGM2 Serie
- Qulee2 Serie Zusatz-Option
- Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee mit YTP-H für Atmosphärendruck
- Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee mit YTP-H Serie für Vakuum
- Lecksuchgeräte
- Dünnschichtmessung / Thin Film Measurement
- Vakuum-Ventile
- Stromgenerator
- ECO Schock Serie ES10
- ECO Schock Serie ES4A
- Gleichstromgenerator DC-10/DC-20 und DC-30-44H
- Impuls- und Gleichstromversorgungssysteme Netzteil Modell: DC PULSE 5-10P
- Gepulste und DC-Stromversorgungssysteme Digital DC-2-4-D
- Gepulste und DC-Stromversorgungssysteme Digital DC-10-20-D
- RF Power System mit Matcher RMG-1303
- RF Power System RF-Stromversorgung RFS-N
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Trockenätzsystem für die Produktion NE-5700 & NE-7800
Trockenätzsystem für die Großserienproduktion mit gutem Preis-Leistungs-Verhältnis und großer Auswahl an Werkzeugkonfigurationen.
- GaN Aussparung mit Selektivität für AlGaN >350
- Präziser Ätzstopp durch Laserinterferometrie EPD
- SiN-Ätzen mit geringer Beschädigung
- SiC durch Ätzen mit ER≥1μm/min (Ni-Maske)
- Ätzen von Au, Pt, Ti ohne Abscheidung von Seitenwänden
- stabile Ätzrate bei Verwendung der STAR-Elektrode mit Bias-Strom (keine erneute Abscheidung)
- 200mm-Cluster-Werkzeug mit bis zu zwei Prozesskammern
Besondere Merkmale / Weitere Anwendungen
- Verbindungshalbleiter (LED, LD und RF-Bauelemente), Leistungsbauelemente (IGBT, SiC)
- Metall, Dielektrikum, Polymer, Ätzen der Gate-Elektrode
- Ferroelektrisches Material, Ätzen von Edelmetallen
- Ätzen von ferromagnetischem Material
