Organische EL-Herstellungssysteme SOLCIET, SATELLA & NEW-ZELDA
Ein komplettes Programm mit einem Forschungssystem für die Materialentwicklung, einem Clustersystem für die Kleinserienproduktion und einem Inline-System für die Massenproduktion. Die Produktreihe unterstützt eine vollständige Palette organischer EL-Anwendungen mit Systemen für mikromolekulare Materialien und Systemen für makromolekulare organische Materialien.
SOLCIET: Solciet ist ein System, das für den Einsatz in der Forschung entwickelt wurde und alle Prozesse durch Überprüfung der Materialgerätekonfiguration ausführt. Es verfügt über eine unabhängige Kammerkonfiguration mit einer Vorverarbeitungskammer, einer Kammer für die organische Abscheidung, einer Kammer für die Abscheidung von Elektroden/Zwischenkammer und einer Handschuhbox. Eine breite Palette von Optionen steht zur Verfügung, um das Spektrum der Forschungsanwendungen zu erweitern, einschließlich Quelleneinheiten und Sputterkathoden. Als Standard-Substratgröße unterstützt Solciet Substrate mit einem Durchmesser von 100 mm.
SATELLA: Zur Lösung von Problemen bei organischen Abscheidungsprozessen verfügt Satella über eine Konfiguration mit mehreren unabhängigen Kammern. Es kann für die Produktion von vollfarbigen Geräten verwendet werden. Dies ist eine schwierige Anwendung für Solciet. Es verfügt über eine 7-seitige Transferkammer und kann je nach Bedarf 2 bis 4 Kammern für die organische Abscheidung aufnehmen. Es verfügt über einen hochpräzisen Mechanismus zur Maskenausrichtung für Aktivmatrix-Vollfarbgeräte. Es unterstützt Substrate mit einem Durchmesser von 200 mm als Standard-Substratgröße.
NEW-ZELDA: New-Zelda ist ein System für die Massenproduktion von Prototypen und Platten. Es wird mit einer neuen Verdampfungsquelle geliefert und hat viele weitere Anwendungsmöglichkeiten. Es unterstützt Substrate von 400 x 500 mm als Standardgröße.
BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN
- Organische EL-Displays
