Batch-Hochvakuum-Verdampfungssystem ei-Series
Dies ist ein Hochvakuum-Batch-Verdampfungssystem für die Abscheidung von Metall und Oxid auf einem Substrat. Da das Bedienfeld dieses Systems über eine integrierte Steuerungsfunktion verfügt, die einen automatisierten Vakuum- und Abscheidungsprozess ermöglicht, ist es sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für die Herstellung kleinerer Serien geeignet.
- Unterstützt verschiedene Verdunstungsquellen (d.h. EB, RH, EB + RH usw.).
- Substrathalterungen, die den jeweiligen Verfahren entsprechen (z.B. Lift-Off, Planet, Satellit usw.).
- Unterstützt verschiedene Substrate; Substrate mit einer Größe von φ2in bis 6in, rechteckige Substrate, Si, Verbindungen, Glas und Keramik.
- Anzeige und Bedienung über LCD-Touchpanel.
- Überlegenes PC-Bedienungssystem und Funktionen (Rezeptfunktion, Datenprotokollierung, Wartungshilfefunktion).
BESONDERE MERKMALE / WEITERE ANWENDUNGEN
- Compound-bezogene Geräte von Power devices.
- LED, LD und Hochgeschwindigkeitsgeräte.
- Verschiedene F&E-Anwendungen.
- Andere allgemeine elektronische Geräte.
