- Komponenten
- Vakuumpumpen
- Trockene Pumpen
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie 120A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie LS300A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie LS 600A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe LS Serie LS 1200A
- Trockene Schraubenvakuumpumpe MS Serie
- Trockene Scroll-Vakuumpumpen der DIS-Serie
- Trockene Scroll-Vakuumpumpen der DISL-Serie
- Trockene Membran-Vakuumpumpe Serie DTC
- Membran-Trockenvakuumpumpe DAU-20/DTU-20
- Membranpumpe für trockenes Vakuum Serie DA
- Trockene Vakuumpumpe mit Membranantrieb Serie DAP
- Trockene Vakuumpumpe LR/HR/UR Serie
- Trockene Vakuumpumpe CR Serie Version B
- Trockene Vakuumpumpe GR Serie
- Trockene Vakuumpumpen mit Wippkolben, Serie DOP
- Ölkreiselpumpen
- Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpe, Modell: GHD-031
- Öl-Drehschiebervakuumpumpe mit Magnetkupplung, Modell: Gv135
- Öl-Drehvakuumpumpe Magnetkupplung, Modell: Gv200
- Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpe, Modell: GLD
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe, Modell: VD
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe, Modell: VD-90C
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe, Modell: VS1501, VS2401
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe, Modell: VS300A-W
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe, Modell: VS650A
- Öl-Drehkolben-Vakuumpumpe, Modell: PKS
- Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpe, Modell: PVD
- Mechanische Druckerhöhungspumpen
- Ionenpumpen
- Turbo-Molekularpumpen
- Öl-Diffusionspumpen
- Kryo-Pumpen
- Zubehör
- Trockene Pumpen
- Vakuum-Messgeräte
- Mehrfach-Ionisationsmessgerät G-TRAN Serie ST200-A / R / E
- Mehrfach-Ionisationsmessgerät G-TRAN Serie SH200-A / R / E
- Pirani Vakuum-Messwertaufnehmer Typ SW100 SW100-A / R
- G-TRAN Serie Pirani Gauge Sensor SP1
- Smartphone-Direkt Pirani Messgerät SWU10-U
- Keramik-Kapazitäts-Manometer, CCMT-D Serie
- G-TRAN Serie Druckschaltereinheit (SAU)
- Kaltkathodenmessgerät Sensoreinheit G-Tran Serie SC1
- G-TRAN ISG1
- Prozessgas-Monitor
- Basis Prozessgasüberwachung – Qulee BGM2-Serie
- Kompakter Prozessgasmonitor – Qulee CGM2 Serie
- Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee HGM2-202/302 Serie
- Reaktives Prozessgas-Überwachungssystem – Qulee RGM2 Serie
- Qulee2 Serie Zusatz-Option
- Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee mit YTP-H für Atmosphärendruck
- Hochleistungs-Prozessgasmonitor – Qulee mit YTP-H Serie für Vakuum
- Lecksuchgeräte
- Dünnschichtmessung / Thin Film Measurement
- Vakuum-Ventile
- Stromgenerator
- ECO Schock Serie ES10
- ECO Schock Serie ES4A
- Gleichstromgenerator DC-10/DC-20 und DC-30-44H
- Impuls- und Gleichstromversorgungssysteme Netzteil Modell: DC PULSE 5-10P
- Gepulste und DC-Stromversorgungssysteme Digital DC-2-4-D
- Gepulste und DC-Stromversorgungssysteme Digital DC-10-20-D
- RF Power System mit Matcher RMG-1303
- RF Power System RF-Stromversorgung RFS-N
- Thermoelektrische Bewertung
- Vakuumpumpen
- Prozessanlagen
- Nach Technologie
- Nach Anwendung
LED-Gerät
LED-Geräte bieten eine hohe Lichtintensität und einen geringen Stromverbrauch und werden häufig in den Bereichen der nächsten Generation von Displays und Beleuchtungssystemen eingesetzt. Die Produktionstechnologie von ULVAC trägt zur Herstellung von LED-Geräten bei.
- 2 bis 6 Zoll große Waffeln
- Höherer Durchsatz
- Hohe Wartungsfreundlichkeit, Stabilität und Zuverlässigkeit
- 4 bis 8 Zoll große Waffeln
- Unterstützt die Übertragung von Substrathaltern
- Unterstützt Lift-Off-Deposition
