Resist Strip System ENVIRO™ Optima
Enviro Optima™ – Das Resist Strip System mit höchsten Durchsatz auf kleinstem Raum und zu geringsten Kosten.
Das Enviro Optima™ Resist Strip System bietet den höchsten Durchsatz pro Quadratmeter Reinraumfläche zu niedrigsten Kosten. Enviro Optima verfügt über eine neue ferngesteuerte Plasmaquelle, die eine extrem schnelle Lackentfernung von >10µm/min ermöglicht. Enviro Optima ist das kleinste 200-mm-Resiststreifen-System auf dem Markt, das 3 Ladeanschlüsse bietet. In Kombination mit der schnellen neuen Wafer-Handling-Robotik führt das unkomplizierte Design von Enviro Optima zum höchsten Durchsatz bei kleinstem Platzbedarf (67wph/m2) für Systeme unter $1 Million.
Mit weniger benötigter Reinraumfläche und einem niedrigeren Preis als bei Modellen der Wettbewerber , bietet dieses Resiststreifen-System die niedrigste CoO, die durch einen hohen Durchsatz bei geringeren Gesamtsystemkosten erreicht wird. Enviro Optima ist ideal für alle Resist-Entfernungsarbeiten, einschließlich schwer zu entfernender Resisten wie SU-8, Rückstands-Entfernungen und Oberflächenvorbereitungsanwendungen.
- Einzelwafer-Veraschungssystem mit einem, zwei oder drei Veraschungsmodulen.
- RF nachgeschaltetes Plasma mit >10 µ/min Ascherate
- Kompatibel mit Fluorchemie zur Entfernung von hartnäckigen Resistenzen/Rückständen
- Starker Resiststreifen, Descum, HDI-Resist, Polymer- und Rückstandsentfernung
- Rückseitenfase/kanten gereinigt
- Hoher Durchsatz bei geringer Stellfläche
