ULVAC, Inc. (Hauptsitz: Chigasaki, Kanagawa; Präsident und CEO: Setsuo Iwashita; im Folgenden ULVAC genannt) kündigte heute an, mit dem Verkauf des kombinierten Abscheidungs- und Ätzmodulsystems des Clustertyps zu beginnen, das es ermöglicht, eine Vielzahl verschiedener Prozessmodule wie Sputtern, Ätzen...

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